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IT之家 7 月 6 日消息,根據(jù) DigiTimes 報道,ASML 試圖規(guī)避荷蘭新銷售許可禁令, 面向中國市場推出特別版 DUV 光刻機。
消息稱如果該項目繼續(xù)推進,中芯國際、華虹等中國半導體企業(yè)可以繼續(xù)使用荷蘭的設備生產(chǎn) 28 納米及更成熟工藝的芯片。
圖源 ASML消息稱該特別版 DUV 光刻機基于 Twinscan NXT: 1980Di 光刻系統(tǒng)改造,而 1980Di 是 10 年前推出的舊型號,不在本次官方禁令范圍內(nèi)。
1980Di 是 ASML 現(xiàn)有效率比較低的光刻機,支持 NA 光學器件、分辨率可以達到 <38 nm,理論上可以支持 7nm 工藝。
大多數(shù)晶圓廠使用 1980Di 光刻機, 主要生產(chǎn) 14nm 及以上工藝芯片 ,很少使用其生產(chǎn) 7nm 芯片。
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